【摘 要】
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快速反射镜（Fast Steering Mirror, FSM）具有响应快、精度高、分辨率高等优势，被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域，是捕获、跟踪和瞄准（Acquisition Tracking and Pointing, ATP）系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动，而基于微机电（Micro Electro Mechanical System, M
【基金项目】
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中国科学院科学科研仪器装备研制项目（YJKYYQ20190026）； 上海市产业协同创新项目（HCXBCY-2021-044）～～；
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快速反射镜（Fast Steering Mirror, FSM）具有响应快、精度高、分辨率高等优势，被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域，是捕获、跟踪和瞄准（Acquisition Tracking and Pointing, ATP）系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动，而基于微机电（Micro Electro Mechanical System, MEMS）技术制备的快反镜具有小型化及批量化等优势，是技术发展的趋势，但其应用于卫星激光通信领域的可靠性尚未进行全面论证。文中介绍了快反镜的工作原理、环境适应性要求以及国内外快反镜的可靠性水平，结合致动原理和结构分析了现有快反镜的失效机理、评估方法和可靠性加固技术，最后指出了高可靠性快反镜的结构和加固技术发展方向，并通过综合分析与仿真验证了MEMS快反镜应用于卫星激光通信的可行性。
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