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通过溶胶-凝胶、阳极氧化以及热氧化方法分别制备TiO2薄膜电极，对电极在白光和可见光照射下的光电流及光电位的变化进行表征。结果表明，3种方法制备的未经修饰的TiO2薄膜电极都表现出一定的可见光光电响应，这可能是由于热处理过程中引起了较大的晶格畸变，从而导致TiO2薄膜表面形成了很多能吸收可见光的表面态。不同条件下制备的TiO2电极在可见光下的光电响应的变化规律与白光下的光电响应一致。