【摘 要】
：
提出一种利用基于数字微反射镜装置（DMD）的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元件的掩模图,将这些图形导入数字光刻机,利用D
论文部分内容阅读
提出一种利用基于数字微反射镜装置（DMD）的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元件的掩模图,将这些图形导入数字光刻机,利用DMD系统的空间光调制特性,经精缩投影曝光,在覆胶铬板上刻蚀出相应的图案,经过腐蚀及去胶得到需要的掩模版。将制作好的掩模版用于精缩光学系统,可在晶圆片上得到亚微米结构的图案,达到高分辨率的要求。该方法是将传统的光刻工艺与DMD数字化虚拟掩模的特点相结合,相对于激光束直写法和粒子束刻蚀法,可以更方便、高效、低成本地获得掩模版。
其他文献
为研究岩石在高应变率作用下的微观损伤特征，用三轴ＳＨＰＢ装置对混合花岗岩和磁铁矿矿石进行高速冲击，用光学显微镜和扫描电镜观察矿物颗粒的受损状态，得出岩石的微观损伤特征
In ord
焦家金矿床构造岩中广泛发育变形石英颗粒，这些变形石英颗粒的三维有限应变分析表明：金矿床定位于断裂带的扩容空间中，付林参数普遍表现为拉伸型．体积应变为增加型。金矿体就位于
在航、卫片解译的基础上，结合已有的区域地质填图成果，经过详细的野外观测研究，明确了甘孜－玉树断裂带最新地表活动形迹的空间展布特征。通过对断错地貌及新地层变形与位错的研究
研究了地质样品(含微量铀岩石)在分解和分离过程中保持铀原始价态稳定不变的最佳条件。建立了在高浓度保护剂存在下,用浓HF(40±5)℃分解样品,使样品中铀(Ⅵ)全部溶出,并立即
研究了接触效应对有机薄膜晶体管性能的影响.首先在n型重掺杂Si片上制备了以MOO3修饰的Al电极为源漏电极的Pentacene基OTFTs(organic thin film transistors),器件场效应迁移
湖北秭归地区晚寒武世末期至早奥陶世早期总体上表现为一个大的海侵沉积序列。本文通过详细的露头层序地层学研究及１∶５万区域地质填图，将该区娄山关组顶部至红花园组划分为２个三
本文简要介绍了枣庄地震动物试验场的观测和研究概况，以鹦鹉鸣叫活动资料分析为例，探讨了试验区２００ｋｍ范围内，ＭＬ≥３．０级地震前所发生的异常活动。从而阐明利用动物出现的行为异常预报地震的
为了营造浓厚的学术氛围,促进学术交流,提高广大教师的学术水平,加快学院专业建设的步伐。2013年度,在学院领导的大力支持下,科研处紧紧围绕学院筹建恢复本科的办学思路以及
利用天然地震记录直达P波后续20s内的波形信息,研究了地壳、土地慢速度结构反演的方法、唯一性、精度及应注意的问题,并将求解有条件极值的惩罚数法和求解无条件极值的单纯形
2010年,是中国电子阅读器产业不平凡的一年。在电子阅读器终端领域,不少业内人士看好电子阅读器将是继手机、电脑、MP3等电子产品之后的又一新技术产品。据预测2010年中国的