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采用中频交流磁控溅射方法，在Mo层上沉积了多层和双层CuInGa（CIG）预制膜，采用固态硒化法制备获得了Cu（In1-xGax）曳（CIGS）吸收层薄膜，考察了预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响。采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分，采用XRD表征了薄膜的组织结构。结果表明，CIG多层预制膜由Cu11In9、CuIn和In相组成，CIG双层预制膜由Cu11In9、CuIn、In和CuGa相组成。通过硒化CIG双层和多层预制膜，所获得的CIGS薄膜均为黄铜矿相结构，薄膜具有（112）面的择