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直接计算法计算粗糙面薄膜的折射率和厚度
直接计算法计算粗糙面薄膜的折射率和厚度
来源 :唐山师范学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zy3201869
【摘 要】
:
简述了椭偏法测量非粗糙面薄膜的折射率和厚度的基本原理,推导出粗糙面薄膜的漫反射椭偏方程,给出了C语言计算程序的流程图,并对实例进行计算.
【作 者】
:
王莉
巩勇刚
【机 构】
:
唐山师范学院物理系
【出 处】
:
唐山师范学院学报
【发表日期】
:
2005年5期
【关键词】
:
椭偏法
粗糙面
直接计算法
ellipsometry rough surfaces direct calculation method
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简述了椭偏法测量非粗糙面薄膜的折射率和厚度的基本原理,推导出粗糙面薄膜的漫反射椭偏方程,给出了C语言计算程序的流程图,并对实例进行计算.
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