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介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统，综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果．就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术，对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨．
面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
【摘 要】
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介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统，综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果．就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【出 处】
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机器人
【发表日期】
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2007年3期
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