【摘 要】
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<正>电子特种气体被称作电子工业的"血液"。中船重工718所副所长郭建增告诉记者,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。电子特
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<正>电子特种气体被称作电子工业的"血液"。中船重工718所副所长郭建增告诉记者,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称,是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而,电子特种气体过去长期被国外企业垄断,严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善,影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。
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