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一个万用的金属器官的化学蒸汽免职(MOCVD ) 系统被设计并且构造。铜电影在硅(100 ) 上被扔由用 Cu (hfac )<SUB>2</SUB> 的化学蒸汽免职(CVD ) 的底层作为一位先锋。由 Cu (hfac )<SUB>2</SUB> 的 H <SUB>2</SUB> 减小的硅底层上的 Cu 原子核的生长被原子力量显微镜学和扫描电子显微镜学学习。Cu 原子核的生长模式是开始 Volmer 网模式(岛) ，然后到 Stra