电子束熔炼炉自动化控制系统设计

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为实现电子束熔炼炉的自动化控制,提出一种电子束熔炼炉的控制系统设计思路。设计基于PLC及组态软件的自动化控制系统,介绍真空系统及拉单晶工艺配置流程,结合真空度PID控制算法设计自动化控制功能。该系统具有高精度、快速响应及运行安全稳定的技术优势。
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