【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制作的敏感性能稳定、具备吸湿性的二氧化硅薄膜,设计了一种新型银-二氧化硅-银湿度表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)传感装置,建立了有效折
【机 构】
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河南农业职业学院信息工程学院,河南师范大学新联学院
【基金项目】
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河南省科技厅煤炭联合重点项目(mjhn2016002)
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采用溶胶-凝胶法制作的敏感性能稳定、具备吸湿性的二氧化硅薄膜,设计了一种新型银-二氧化硅-银湿度表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)传感装置,建立了有效折射率和湿度变化模型。分析得到优化入射光的波长可获得最佳的探测效果,随着测量层厚度的增加,共振峰逐渐变得锐利,能够提高检测精度。实验分析表明,电磁场的能量集中在银和多孔陶瓷二氧化硅的交界处附近,银薄膜越厚,SPR光谱越窄;湿度的变化范围是(0%~100%)RH,角度分辨率的测试极限是0.01,湿度传感器可以达到灵敏度为0.025°/%RH。
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