【摘 要】
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采用化学一机械加工工艺加工ZnSe晶体器件。用X射线衍射分析技术测定晶体器件在加工过程中宏观应力的变化。结果表明：加工后器件的损伤层厚度接近为零。抛光后的器件和加工前
【机 构】
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吉林师范大学信息技术学院,长春理工大学光学加工中心,长春理工大学材料与化工学院
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采用化学一机械加工工艺加工ZnSe晶体器件。用X射线衍射分析技术测定晶体器件在加工过程中宏观应力的变化。结果表明：加工后器件的损伤层厚度接近为零。抛光后的器件和加工前的器件的宏观应力相近，表明用该工艺加工对器件的宏观应力影响小，这对器件的应用非常有利。加工实验表明：选用的工艺参数和抛光液对加工ZnSe晶体器件是成功的。
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