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Si基GaN上的欧姆接触

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：aaronlonghao

【摘 要】

：

研究了Ｓｉ基ＧａＮ上的欧姆接触，对在不同的合金化条件下铝（Ａｌ）和钛铝铂金（Ｔｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ）接触在不同的合金下的性质作了详尽的分析。Ａｌ／ＧａＮ在４５０℃氮气气氛退火３ｍｉｎ取得最好的欧姆接触率７．５＊１０＾－３Ω．ｃｍ＾２，而Ｔｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ／ＧａＮ接触在６５０℃氮气气氛退火２０ｓ取得最

【作 者】

：

赵作明 江若琏 

【机 构】

：

南京大学物理系

【出 处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2000年4期

【关键词】

：

欧姆接触 硅基氮化镓 合金化 退火 热稳定性 SiGaNOhmic contact Al Ti/Al/Pt/Au 

【基金项目】

：

国家自然科学基金!资助项目 ( 699870 0 1,696360 10 ,6980 60 0 6)

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研究了Ｓｉ基ＧａＮ上的欧姆接触，对在不同的合金化条件下铝（Ａｌ）和钛铝铂金（Ｔｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ）接触在不同的合金下的性质作了详尽的分析。Ａｌ／ＧａＮ在４５０℃氮气气氛退火３ｍｉｎ取得最好的欧姆接触率７．５＊１０＾－３Ω．ｃｍ＾２，而Ｔｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ／ＧａＮ接触在６５０℃氮气气氛退火２０ｓ取得最好的欧姆接触８．４＊１０＾－５Ω．ｃｍ＾２，而且Ｔｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ／ＧａＮ接触有较好的热稳定

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