【摘 要】
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利用射频磁控溅射方法,采用AZO靶和Sn靶共溅射的方法在钠钙玻璃衬底上制备了Al与Sn共掺杂的ZnO（ATZO）薄膜样品,再对样品进行300,350,370,400,500℃5种不同温度和1,2,4h3种不同
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（61176062）资助项目, 江苏省前瞻性联合研究项目（BY2013003-08）资助项目, 江苏高校优势学科建设工程资助项目
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利用射频磁控溅射方法,采用AZO靶和Sn靶共溅射的方法在钠钙玻璃衬底上制备了Al与Sn共掺杂的ZnO（ATZO）薄膜样品,再对样品进行300,350,370,400,500℃5种不同温度和1,2,4h3种不同时间的退火处理。采用X射线衍射仪（X-ray diffraction,XRD）和扫描电子显微镜（Scanning electron microscope,SEM）对其相结构及形貌进行了表征和分析。结果表明,所制备的ATZO薄膜都是六角纤锌矿结构,在（002）方向上表现出择优生长且表面都较为均匀。采用U
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