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通过对各种TiO2薄膜制备方法的对比,得到:磁控溅射法是目前制备TiO2薄膜的最佳方法;离子束溅射法和热解法尽管相关研究较少,但是值得进一步研究.
TiO2薄膜的制备方法研究
【摘 要】
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通过对各种TiO2薄膜制备方法的对比,得到:磁控溅射法是目前制备TiO2薄膜的最佳方法;离子束溅射法和热解法尽管相关研究较少,但是值得进一步研究.
【机 构】
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云南师范大学太阳能研究所
【出 处】
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云南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年02期
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