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针对纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中等离子体膨胀的特点，建立了新的动力学模型．将等离子体视为高温高压的理想气体和无黏性的流体，得到了等离子体动力学方程组，并深入探讨了脉冲激光沉积过程中等离子体羽辉膨胀的速度特征．结果表明，影响等离子体内部及边缘速度的主要因素有：等离子体的温度、粒子的质量、等离子体的电离度以及动力学源等；由于动力学源的存在，等离子体的速度在垂直于靶材表面和平行于靶材表面的两个方向上，自然会形成具有不同自相似的分布．模拟了等离子体的膨胀过程，给出了等离子体的速度随温度的演化规律，实验结果比传统理论