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对空间飞行器表面原子氧密度测量技术研究现状进行了探讨，并提出了一种新颖的测量方法设想，单个传感器采用YSZ（氧化钇稳定的氧化锆yttria—stabilizedzirconiaYSZ）作为敏感材料，通过测量YSZ阻抗变化的方法进行原子氧的测量。同时采用已知原子氧腐蚀速率的材料锇一起暴露测量，实现了对YSZ原子氧传感器的在线标定。该方案能解决空间飞行器表面原子氧密度的长期测量和传感器标定困难的问题。