基于音圈电机驱动的精密定位系统

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对研制用于快刀加工的精密定位系统,分析其数学模型,研究其控制策略。该系统采用音圈电机直接驱动,空气静压导轨支撑,光栅尺实时检测。所设计的系统达到50mm行程上0.5μm定位精度以及100Hz以上的响应速度。
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