【摘 要】
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目的研究具有催化活性的镍、钴金属粉末对单晶金刚石机械抛光的影响,以期获得低成本高效率的单晶金刚石抛光工艺。方法以高温高压法(HPHT)制备的Ⅱa型单晶金刚石为样品,采用
【机 构】
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中国科学院大学,北京中科科仪科技股份有限公司,电子显微技术联合实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(50128790);中科院百人计划;中国科学院装备计划项目(yz201356);河北省科技计划项目(14291110D);北京市科技计划(Z151100003315024)~~
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目的研究具有催化活性的镍、钴金属粉末对单晶金刚石机械抛光的影响,以期获得低成本高效率的单晶金刚石抛光工艺。方法以高温高压法(HPHT)制备的Ⅱa型单晶金刚石为样品,采用机械抛光的方法沿单晶金刚石(100)晶面的[100]晶向进行抛光,抛光介质分别为金刚石研磨膏、金刚石微粉、金刚石微粉与镍粉混合粉末、金刚石微粉与钴粉混合粉末。样品表面粗糙度通过原子力显微镜(AFM)进行测定,通过扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)对样品表面形貌及元素成分进行分析表征。结果金刚石微粉作研磨粉时,抛光速率最高,达到900μm/
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