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现行多晶硅生产流程中如何增效降耗问题的探讨□中国四佳半导体材料公司莫运筹□国内现行的常规西门子法生产多晶硅的工艺中，减少工艺物料消耗的重点部位是在ＳｉＨＣｌ３合成工序中如何提高硅烷中ＳｉＨＣｌ３含量和减少氯硅烷气的冷凝损失；在氯硅烷的氢还原工序中如何...
现行多晶硅生产流程中如何增效降耗问题的探讨
【摘 要】
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现行多晶硅生产流程中如何增效降耗问题的探讨□中国四佳半导体材料公司莫运筹□国内现行的常规西门子法生产多晶硅的工艺中，减少工艺物料消耗的重点部位是在ＳｉＨＣｌ３合成工序中如何提
【机 构】
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中国四佳半导体材料公司
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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1997年8期
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