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介绍了一种新型的基于微系统技术的微型夹爪。这种夹爪用硅或玻璃为原材料，其尺寸微小紧凑，装夹动作灵活并且结合了传感器性能，在微机械加工的装夹方面崭露头角。它提供了一种微型夹具设计和制造的新途径，在微系统元器件的生产和装配中将发挥重要的作用。
基于微系统技术的一种新型夹具
【摘 要】
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介绍了一种新型的基于微系统技术的微型夹爪。这种夹爪用硅或玻璃为原材料，其尺寸微小紧凑，装夹动作灵活并且结合了传感器性能，在微机械加工的装夹方面崭露头角。它提供了一种微
【机 构】
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华北航天工业学院
【出 处】
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航天制造技术
【发表日期】
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2002年6期
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