【摘 要】
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半导体专业是工程应用型学科,着重培养学生的实践能力,实验教学环节至关重要.由于实验成本及实验场地的局限性,半导体加工技术实验难以线下开展.长期以来,课程理论与实践难以
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半导体专业是工程应用型学科,着重培养学生的实践能力,实验教学环节至关重要.由于实验成本及实验场地的局限性,半导体加工技术实验难以线下开展.长期以来,课程理论与实践难以结合,学生缺乏学习主动性,不利于工程型人才的培养.因此,郑州大学物理学院(微电子学院)建设了“MEMS制造光刻实验虚拟仿真教学”平台并引入实验教学,通过构建逼真的光刻实验环境和实验设备,达到与真实实验一致的学习体验.新的实验教学方法通过有效融合理论知识学习、实验步骤操作、学习效果考核、线下学习等环节,建立了完善的跟踪反馈机制,可有效激发学生自主学习兴趣.
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