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用EBIC法分析了LED列阵显示器失效的工艺原因,非破坏地测量了最佳样管的p-n结结深,其数值与磨角染色法及最佳结深理论计算值一致。
12元LED列阵显示器的EBIC法观测
【摘 要】
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用EBIC法分析了LED列阵显示器失效的工艺原因,非破坏地测量了最佳样管的p-n结结深,其数值与磨角染色法及最佳结深理论计算值一致。
【机 构】
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昆明物理研究所,昆明物理研究所
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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1989年6期
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