超精密主轴的驱动方法

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<正> 超精密主轴是超精密加工设备的关键部件,其性能直接影响工件的尺寸精度和形状精度。同时其驱动方法也起着重要作用,它带来的振动和误差对主轴回转精度的影响极大。目前有多种超精密主轴的驱动方法,其选择原则为: (1)驱动源使主轴只受"纯力偶"作用; (2)驱动源的振动、噪音及发热应消除、
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