光学镀膜与装置

来源 :中国光学与应用光学文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户：linlijun002

【摘要】

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O484.1 99031779射频溅射-热处理法研制SnO2薄膜=Study of theSnO2 thin-film prepared by RF-sputteringand heat-treatment[刊,中]/蒙冕武,邓希敏,

【出处】

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中国光学与应用光学文摘

【发表日期】

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1999年3期

【关键词】

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金属有机化学汽相沉积微波等离子体电子回旋共振外延技术高温超导薄膜半导体技术电磁工程装置大连理工大学电子工程

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O484.1 99031779射频溅射-热处理法研制SnO2薄膜=Study of theSnO2 thin-film prepared by RF-sputteringand heat-treatment[刊,中]/蒙冕武,邓希敏,刘明登（广西师范大学新技术新材料研究所.广西,桂林（541004））//传感器世界.—1998,4（11）.-10-15首先采用350 W×0.10 Pa×20 m

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