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针对传统微电容测量方法的缺点提出了微电容比率测量法。采用带限流电阻的正弦波激励确保激励源和前置放大器正常工作以提高消除杂散电容的能力；检测被测电容两端的电压和流过被测电容的电流计算得到被测电容的电容值；采用锁相检测技术消除噪声和直流失调。给出了微电容测量系统的方案。实验结果表明电容测量分辨率达到了O．OlpF，证明了所提出方法的有效性。