热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析

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【摘要】

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本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场.并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号

【作者】

：

张昭勇秦明黄庆安朱昊

【机构】

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东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室

【出处】

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电子学报

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

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有限元分析热模拟计算流体动力学气体流量传感器 Computational fluid dynamics Finite element method Tem

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本文利用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN,模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场.并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响.将最终的模拟计算结果与实验数据进行比较,发现二者基本吻合.利用此热学模型来模拟和分析此类传感器,不但可以减少大量的模拟分析过程而且可以降低计算的复杂度,同时也为该类传感器的进一步优化设计提供了一个非常简单而有效的方法.

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