【摘 要】
：
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响.针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
论文部分内容阅读
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响.针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械改进方案：采用双侧柔性铰链式结构代替原有的鞍型滑块与刻划刀架的固定连接方式.最后,进行了刻划刀架系统运行稳定性测试和光栅刻划实验.刻划刀架运行稳定性测试实验表明：改进后的刻划刀架系统运行稳定性比改进前有显著改善,位移曲线重复性误差PV值由127 nm降低到13 nm,降低了约89％.光栅刻划实验表明,刻划
其他文献
为了将企业资金运转压力和税负压力降低,推动企业尽快实现升级转型,我国提出了税收筹划应用策略,并且经过近几年的发展取得了一定的成效。企业在发展中,应当深入研究税收筹划
科技管理体制又称科技体制,指的是所有科学技术活动的组织体系和运行制度的总称。完善的科技管理体制能够更好地推动创新型国家的建设,能够促进区域整体创新能力的提高。在大
<正>习近平总书记指出:纪检机关必须坚守职责定位,强化监督、铁面执纪、严肃问责。执纪者必先守纪,律人者必先律己。各级纪检机关要以更高的标准、更严的纪律要求自己,提高自
根据2007~2016年中国就业网公布的松原市人力资源市场供求状况分析报告,整合各采样季度的基础数据,计算各采样年份的供求状况,对关键指标进行比较、排序,并对其变化情况进行
由于减小相位式激光测距系统的鉴相误差可提高测距精度,本文对鉴相器前置整形模块和后置滤波模块进行了优化设计,以提高鉴相精度.针对整形模块,引入了迟滞比较器,克服了传统
针对阵列样品的定量检测，构建了一种用于阵列样品检测的扫描式表面等离子体共振生物传感器。首先，基于平面棱镜耦合下的最佳旋转轴位置和双棱镜探测光路搭建了阵列扫描式表面等
经济的发展提高了社会生活水平,同时也对环境造成了威胁。环境问题一直备受关注,节能减排被列入"十一五"规划,重大环保工程被列入"十二五"规划,绿色发展理念被列入"十三五"规
党的十八大以来,以习近平同志为核心的党中央大力推进党风廉政建设和反腐败斗争。国有企业纪检监察工作也得到不断加强。但是受各方面原因的影响,目前国有企业的纪检监察工作