在不同的半导体制造技术间高效转换集成光路设计的方法

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针对60GHz的光纤到户无线通信应用,我们设计了一种基于磷化铟的远端接入点集成光子芯片[1]。在多项目晶圆的框架下,为了确保芯片能满足截止日期的要求,我们选取了两个不同的晶圆厂流片。在设计过程中,我们仔细检验了设计方法,从需要满足的功能、结构单元的参数,直到准备最后的掩膜设计。针对于不同晶圆厂的,最后的掩膜设计是不同的。但通过在设计环境下使用通用的结构单元(Building Blocks,BBs),使针对不同晶圆厂之间的设计转换变得容易,从而大大降低了芯片设计所需要的时间。
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