单定子三自由度超声电机的驱动及其位置控制

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介绍了单定子三自由度超声电机的结构及实现三个自由运动的原理,制作了该超声电机的驱动电路,并根据控制目标设计并实现了该超声电机的运动信号的检测和位置控制,实验结果表明该超声电机的输出轴在一定范围内能够精确地按照预定轨迹达到空间的任一位置.
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