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本文介绍了我们自行设计研制的一种新型微区微量成份分析装置——溅射原子化激光共振电离飞行时间质谱计（SIRI—TOFMS）。这一新型仪器的特点是:高灵敏,高选择性,适用范围广以及基体效应小等,可以实现复杂样品微区微量成份的定量分析。用本仪器对AuCu合金中的Au进行了分析测试,获得Au的极限灵敏度为5×10<sup>-8</sup>,质量分辩本领为400。