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介绍了基于传输反射法理论改进,组建了室温（R.T.）～600℃,400MHz～18GHz介电常数测量系统。分别从系统组成和测试方法两个方面入手,详细介绍高温传输反射测试系统对器件的材质、工艺、性能指标等特殊要求,重点介绍了高温测试用到的校准技术、高温修正算法、时域门技术、尺寸误差修正、自动控制等理论和技术难题。并佐以实验进行验证,试验结果与标称值符合良好。