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Ion property and electrical characteristics of 60MHz very-high-frequency magnetron discharge at low
Ion property and electrical characteristics of 60MHz very-high-frequency magnetron discharge at low
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jianjian19527
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
Amin JIANG
Chao YE
Xiangying W
【机 构】
:
School of Physics Science and Technology, Soochow University, Suzhou 215006, People’s Republic of Ch
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2018年10期
【关键词】
:
VHF magnetron sputtering
low pressure discharge
ion property
electric characteri
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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