微小孔阵列垂直腔面发射激光器的研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bevanwq
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在980nm波长的大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的基础上制备了高输出功率的微小孔阵列半导体激光器,其最大输出光功率达到了1mW。介绍了针对微小孔阵垂直腔面发射激光器的特殊制备工艺,并对其特性进行了分析。
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