离轴抛物面的对比测量

来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zuiaiyunhao

【摘要】

：

采用离轴角度90°、口径1 inch的离轴抛物面作为样品,比对了传统零位干涉测量结果和非接触式3D非球面光学面形测量系统Luphoscan之间的差异.利用Zemax仿真了离轴抛物面六个维度的调整误差对测量结果的影响,分析了离轴量误差在两种完全不同测量过程中的表现形式,解决了Luphoscan测量结果可用性问题.根据仿真结果搭建动态干涉仪的零位检验干涉光路,建立了离轴抛物面的六个维度调节标准流程,可快速消除调整误差和离轴量误差,多次复现性测试结果达到了pv=0.135λ的精度.

【作者】

：

陈巍王青朱贵博

【机构】

：

南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京 210094

【出处】

：

光学仪器

【发表日期】

：

2022年1期

【关键词】

：

离轴抛物面无像差点法检测 Luphoscan 动态干涉仪

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