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红外焦平面需要用互连技术把光敏元阵列与信号读出电路进行互连,利用化学镀的方法,在32×32非致冷红外焦平面阵列的CMOS读出电路上镀直径为6μm,高度为2μm的互连柱.测试结果表明,该技术稳定可靠,是实现接触孔互连的可行方法.
化学镀镍在32×32非致冷红外焦平面互连中的应用
【摘 要】
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红外焦平面需要用互连技术把光敏元阵列与信号读出电路进行互连,利用化学镀的方法,在32×32非致冷红外焦平面阵列的CMOS读出电路上镀直径为6μm,高度为2μm的互连柱.测试
【机 构】
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华中科技大学光电子工程系,华中科技大学光电子工程系,华中科技大学光电子工程系
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2005年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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