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<正> 光电子集成和光子集成(OEIC和PIC)技术是当今的热门技术,它们借鉴并发展了电集成的许多概念和方法。先从分离的光学、电子器件和简单功能的OEIC开始,再发展到多功能的超大规模OEIC。OEIC与IC的重要区别是:OEIC除了控制不同元件之间电子流动外,还必须控制光子流动。OEIC是以高频率的光波作为载波,因此不仅具有功能强、体积小、重量轻、功耗小、工作稳定可靠、成本低、便于大规模生产等IC的一般特点外,还具有响应速度快、频带宽、光并