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在900℃，循环氧化20h的试验条件下研究了偏压对CrAlN薄膜抗氧化性的影响。用X射线衍射仪测定薄膜氧化前后的相结构，用场发射扫描电镜观察薄膜氧化前后的表面形貌，并每隔4h测量其氧化增重。结果表明，随着偏压的增加，CrAlN薄膜中的铝含量增加，薄膜的抗氧化性增强。其主要原因是：1）随着铝含量的增加，薄膜表面形成了更多的铬铝混合氧化物，它们充当了氧的扩散阻挡层，减小了高温条件下氧向薄膜内的扩散能力：2）加入的铝与氮以共价键结合，提高了薄膜的热稳定性。