【摘 要】
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通过偏光显微镜、扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XDS）及X射线光电子能谱（XPS）考察了热解碳（Pyrocarbon，本文简写为PyC）的织构及生长特征等，提出了一个广义小滴沉积模式．PyC的光滑层（SL）、粗糙
【机 构】
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通过偏光显微镜、扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XDS）及X射线光电子能谱（XPS）考察了热解碳（Pyrocarbon，本文简写为PyC）的织构及生长特征等，提出了一个广义小滴沉积模式．PyC的光滑层（SL）、粗糙层（RL）及各向同性相（ISO）等三种主要织构的形成机制可由此模式得到满意的解释．
The texture and growth characteristics of Pyrocarbon (Pyrocarbon, abbreviated as PyC) were investigated by polarized light microscopy, scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XDS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) Droplet deposition pattern. The formation mechanism of the three main textures of PyC, such as smooth layer (SL), rough layer (RL) and isotropic phase (ISO), can be satisfactorily explained by this mode.
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