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利用等离子体增强原子层沉积系统,以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理,研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响。研究结果表明,当刻蚀周期数为200时,钝化效果最好;刻蚀周期数不足(100)时,钝化效果最弱;刻蚀周期数较高(300~400)时,随着刻蚀周期数的增大,钝化效果减弱。
等离子体氮钝化GaSb材料表面特性研究
【摘 要】
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利用等离子体增强原子层沉积系统,以逐层刻蚀方式对GaSb进行氮(N)钝化处理,研究了钝化过程中刻蚀周期对GaSb钝化效果的影响。研究结果表明,当刻蚀周期数为200时,钝化效果最好
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室;
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金(61404009,61474010,61574022,61504012,61674021,11674038);吉林省科技发展计划(20160519007JH,20160101255JC,20160204074GX,20170520117JH)
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