【摘 要】
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在射频电感的设计中采用了微机电技术进行改造,得到了具有集成度高、功耗较低、体积小等优点的新型电感,在微波集成电路中出现这种高品质设计因数的电感意义重大.根据仿真结
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在射频电感的设计中采用了微机电技术进行改造,得到了具有集成度高、功耗较低、体积小等优点的新型电感,在微波集成电路中出现这种高品质设计因数的电感意义重大.根据仿真结果可以发现,在平面结构中,电感因数在4.4GHz的时候就可以达到11.8,而在垂直结构中,电感因数在4.3GHz的时候甚至可以达到19.5,与传统电感相比品质因数明显升高.
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