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<正>光罩与晶圆检测领导厂商KLA-Tencor(科磊半导体)近年在先进量测(metrology)领域动作积极,自2006年起展开一连串并购策略,先后并购ADE,
科磊半导体并购晶圆量测方案两强成立Promesys部门
【摘 要】
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<正>光罩与晶圆检测领导厂商KLA-Tencor(科磊半导体)近年在先进量测(metrology)领域动作积极,自2006年起展开一连串并购策略,先后并购ADE,
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2007年11期
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