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以无机盐为原料,采用溶胶-凝胶法制得透光导电ITO薄膜。用温度控制器改变ITO薄膜温度,用SZT-2四探针测试仪测膜的方阻。结果表明：在温度的循环变化过程中,ITO薄膜的方阻随着温度的上升而降低,在温度降低时沿原曲线返回,且重演性好,高温时电阻响应的灵敏度较大,可在使用过程中起到温度的传感作用。