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参数测试问题?请在使用检修仪器之前检查探针接触电阻
参数测试问题?请在使用检修仪器之前检查探针接触电阻
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:algenesis
【摘 要】
:
参数测试仪广泛应用于半导体产品、工艺过程开发以及生产监控.当测试结果与预期不符合的时候,请首先检查信号路径以发现潜在的问题.
【作 者】
:
Otto P.Weeden
【机 构】
:
吉时利仪器公司III
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2003年11期
【关键词】
:
参数测试仪
接触电阻
接触电阻
平整度
平衡触点压力
超量驱动
触点压力
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参数测试仪广泛应用于半导体产品、工艺过程开发以及生产监控.当测试结果与预期不符合的时候,请首先检查信号路径以发现潜在的问题.
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