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研究了一系列FeCoB-C02Z软磁薄膜在0.5~5.0 GHz频率范围内的噪声抑制特性,以及C02Z含量对FeCoB-C02Z软磁薄膜的反射系数S11、传输系数&1和相对功率损耗PLoss/PIN的影响,结果表明在0.5~5.0 GHz频率范围内(Fe40CocB20)0.8915-(Co2Z)0.1085薄膜具有最大的相对功率损耗最大值0.86,同时该薄膜具有优异的噪声抑制特性.进一步研究薄膜尺寸对(Fe40Co40B20)0.8915-(Co2Z)0.1085薄膜相对功率损耗的影响,发现薄膜的相对功率损耗最大值随着薄膜尺寸的增加而增大,这使得将薄膜应用在噪声抑制器上时必须综合考虑薄膜的噪声抑制特性和薄膜尺寸.