论文部分内容阅读
利用四参量能量极小化方法求解了任意薄膜/衬底厚度比悬臂梁系统的弯曲问题.在此基础上重点分析了磁膜应力和应变与构成悬臂梁的两种材料的几何参数和物理参数的关系,给出了这些参数对磁膜-衬底悬臂梁系统中平面弯曲特性的影响.计算结果表明,中平面在一般情况下是各向异性的,且随着磁膜厚度的增加中平面迅速下降;磁膜应力随着膜厚增加而减小,应变随膜厚增加而增加;材料泊松比对垂直于磁化方向的应力和应变以及中平面的影响很大,但是,泊松比对磁化方向的应力、应变和中平面的影响很小,可以忽略不计.