论文部分内容阅读
针对各类毫瓦级超声功率计的量值溯源问题,选用压电陶瓷材料,根据其压电效应原理,设计为厚度伸缩振动模式,采用能陷技术及真空镀膜等技术工艺,制作了一系列1MHz、3MHz、5MHz的园片形单元超声换能器,并研制与之配套的阻抗匹配器,与功率信号源等,组成一套毫瓦级超声功率传递标准。该套标准经济实用、性能可靠稳定,重复性好,有效地解决了毫瓦级超声功率计的量值溯源问题。