高电荷态铋离子在氮化镓外延膜中引起损伤应力的研究(英文)

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While a HCI impact on solid surface,the high density of electronic excitation produced by potential energy release of HCI is comparable to that produced by high power laser pulses or swift heavy ion.However,its potential energy deposition was confined in a nanometer-sized volume close to the surface and occurs on a femtosecond time scale,which can leads to nano-structure deformation in various materials,such as hillocks(LiF,CaF2,mica,HOPG,)[1,2],pits(KBr,BaF2)[3],craters(Si(1 1 1)(7–7))[4],caldera While a HCI impact on solid surface, the high density of electronic excitation produced by potential energy release of HCI is comparable to that produced by high power laser pulses or swift heavy ion. However, its potential energy deposition was confined in a nanometer-sized volume close to the surface and occurs on a femtosecond time scale, which can lead to nano-structure deformation in various materials, such as hillocks (LiF, CaF2, mica, HOPG) [1,2], pits (KBr, BaF2) 3], craters (Si (1 1 1) (7-7)) [4], caldera
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