AFM检测金刚石刀具锋利度误差分析研究

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金刚石刀具是超精密切削的重要工具,其刃口锋利度的好坏对工件切削质量有着直接影响。基于AFM的金刚石刀具刃口锋利度检测是目前的主要方法,但是由于AFM仪器本身、扫描参数设置以及刀具状况、外界干扰等多种影响因素的作用,将导致金刚石刀具纳米级锋利度的检测产生多种误差。以圆弧刃金刚石刀具为测量对象,深入分析各个因素的影响过程,进行了理论分析和实验过程,提出了抑制和修正方法。研究表明,通过上述研究和措施的实施,可以提高锋利度的检测精度,为金刚石刀具高质量评价体系的建立提供理论和方法支持。
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