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大口径PZT移相干涉仪的几个关键技术
大口径PZT移相干涉仪的几个关键技术
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwqewwqe
【摘 要】
:
以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象,研究以压电陶瓷(PZT)实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案,主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试
【作 者】
:
武旭华
陈磊
【机 构】
:
南京信息工程大学物理与光电工程学院,南京理工大学电光学院
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
2014年13期
【关键词】
:
测量
光学测试
大口径干涉仪
PZT移相
关键技术
measurement
optical testing
large-aperture interfero
【基金项目】
:
基金项目:江苏省自然科学基金青年基金(BK20140984)、南京信息工程大学校科研基金($812034001)
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以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象,研究以压电陶瓷(PZT)实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案,主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术,为更大口径的干涉仪的研制提供理论基础研究和关键技术储备。
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