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期刊论文
分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜
分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜
来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lrdg
【摘 要】
:
本文提出了用分次硅离子注入再结晶法来处理多晶硅薄膜,并用透射电镜(TEM)和X射线衍射技术观察分析了处理后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸和薄膜组成结构。结果表明:分次注入法确实
【作 者】
:
舒畅
包宗明
桑野博
【机 构】
:
复旦大学,日本庆应义塾大学
【出 处】
:
核电子学与探测技术
【发表日期】
:
1991年6期
【关键词】
:
硅
离子注入
再结晶
多晶硅
薄膜
?
Fractionally implanted by sillicon ion and recrysta-llized
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本文提出了用分次硅离子注入再结晶法来处理多晶硅薄膜,并用透射电镜(TEM)和X射线衍射技术观察分析了处理后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸和薄膜组成结构。结果表明:分次注入法确实有助于获得晶粒尺寸。大,同时晶粒晶向一致性好的多晶硅薄膜。
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